PRECESS普瑞賽思真空傳輸閥(V70系列雙開口)用于SEMI生產(chǎn)系統(tǒng)中的負(fù)載鎖定和工藝室隔離。適用于腐蝕性工藝,如蝕刻或CVD。
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PRECESS普瑞賽思真空傳輸閥(V70系列雙開口)用于SEMI生產(chǎn)系統(tǒng)中的負(fù)載鎖定和工藝室隔離。適用于腐蝕性工藝,如蝕刻或CVD。
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PRECESS普瑞賽思真空傳輸插入閥(V70系列)適用于腐蝕性工藝,如蝕刻或化學(xué)氣相沉積(CVD),其技術(shù)采用單軸氣動執(zhí)行器驅(qū)動的L型運動。在L型運動中,隔板垂直移動到關(guān)閉位置——無需與閥體接觸——然...
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PRECESS普瑞賽思真空傳輸門閥(V77系列)L-Motion密封與傳輸閥不同,只有一個真空室用于裝載或處理。因此,門的另一側(cè)始終處于大氣壓下。所有PRECESS解決方案都是針對各自的應(yīng)用量身定制的...
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PRECESS L-Motion 移位傳輸門閥適用于腐蝕工藝,如蝕刻或 CVD,通過單軸氣動執(zhí)行器對閘門進行 L 型運動的技術(shù)。在 L 型運動中,閘門垂直移動到接近位置 - 不與閥體有任何接觸 - ...
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PRECESS普瑞賽思真空控制蝴蝶閥(AB系列)提供壓力控制性能。憑借其快速而精確的運動控制器(0.1s),它是在PVD,CVD,Etch和Ald等各種過程中進行壓力控制的理想解決方案。板充當(dāng)節(jié)流元件...
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Leybold萊寶電容薄膜真空計(CTR100)適用于腐蝕性工藝氣體。它能達到優(yōu)秀水平的精度(0.2%),通過陶瓷電容式傳感器進行真空度測量。
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Leybold萊寶熱陰極真空計(ITR90)是一款經(jīng)過優(yōu)化的組合變送器。通過將熱陰極電離傳感器(采用熱陰極電離的 Bayard Alpert 原理)與皮拉尼傳感器相結(jié)合,可實現(xiàn) 5×10-1...
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Leybold萊寶線性壓力傳感器(DI200)是一款性能優(yōu)異的真空壓力測量儀器。它堅固耐用,防護等級為IP54,適用于惡劣環(huán)境。產(chǎn)品非常緊湊,只需要一個傳感器,采用電容式或壓電式傳感器。
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Leybold萊寶皮拉尼和電容膜片復(fù)合真空計(TTR101)的測量范圍從 5×10?? 到1500 mbar,能夠滿足從粗真空到高真空的測量需求。在 10mbar 到 1500mbar 的測...
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Leybold萊寶PENNINGVAC冷陰極真空計(PTR90)精度高,外形小巧,占用空間小。它們采用杰出的技術(shù),其真空測量能力達到很高水平。
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德國Leybold萊寶數(shù)顯手持式真空計(TM101)測量范圍為 1200...5×10-4 mbar。Piezo/Pirani 復(fù)合真空計,帶有溫度補償功能,適合法蘭安裝。如果使用合適的電池...
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INFICON英福康中低真空鎳絲皮拉尼真空規(guī)PSG500、PSG500-S、PSG502-S、PSG510-S和PSG512-S采用市場上先進的數(shù)字皮拉尼技術(shù)。測量范圍:5×10-4 … 1...
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YUSEETECH氣體質(zhì)量流量計(YEC2000系列)是專為各類低成本工業(yè)氣體進行各種管理和控制而設(shè)計。該系列儀表可提供直觀的質(zhì)量流量信息,友好的用戶界面設(shè)計 (RS485/ 4~20mA)可輕松的進...
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PSG010, PSG017, PSG018英福康(INFICON)耐高溫、耐輻射真空計,是一款無源皮拉尼真空計,有著悠久的歷史,與INFICON的VGC094真空規(guī)控制器配套使用。其測量范圍為:8&...
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