PRECESS普瑞賽思真空傳輸門閥（V77系列）

低顆粒活化度和顆粒排放以及快速、可靠的打開和關閉循環方面的顆粒性能是半導體生產系統中大氣傳輸門的關鍵性能指標。

新的V77 HV傳送門插件與L-Motion結合了優秀的顆粒性能和優化的可控性，可實現可調、快速的循環時間。

通過優化各種設計特征，如板上用于均勻密封壓縮的扭桿、完好封裝的致動器、無潤滑環境和具有可調速度曲線的真實L-Motion，以避免任何閉合沖擊，實現了優秀的顆粒性能。

V77具有可調速度曲線的優秀真實L-Motion是通過PRECESS的特殊L-Motion技術實現的，該技術有兩個獨立的執行器，用于垂直和水平移動。結果：一種高度可靠的執行器概念，具有快速、穩定、可調節和無沖擊的運動。好處：更長的正常運行時間和更好的可控性。

PRECESS普瑞賽思真空傳輸門閥（V77系列）

特征：

l半標準應用（Semi E21-94 Semi E24-92 Semi-E21.1-1296）

l閥蓋法蘭真空側的防塵密封，幾乎消除了顆粒物進入波紋管

l無顆粒和振動

優點：

l實現精確的L動作

l易于維護

應用：

l半導體加工

l等離子體蝕刻、CVD、濺射沉積

l太陽能電池板制造

lLCD/平板工藝

l所有其他集群和內聯真空系統

技術參數