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VAT 65.3控壓真空擺閥設(shè)定了下游壓力控制和隔離的新標(biāo)準(zhǔn)。該系列控壓擺閥專為半導(dǎo)體和顯示器生產(chǎn)系統(tǒng)而設(shè)計，可在較寬的流導(dǎo)范圍內(nèi)提供穩(wěn)定精確的可控性。65.3 控壓擺閥配備帶有集成位置控制的電機，可提供改進功能。驅(qū)動器控制器具有更高的 32 位數(shù)據(jù)處理能力，可提供全新可控性。

VAT 61.3壓力控制蝶閥在所有條件下均能實現(xiàn)出色的壓力控制；憑借其快速且精準(zhǔn)的作用動作控制器（0.1 秒），61.3系列控制閥成為 CVD 和 ALD 工藝中精細控制的理想解決方案。